如何处理洁净室的静电问题?
信息来源:http://www.hefil.com.cn/ 发布时间:2013/5/26 10:46:51 点击数:
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净化设备
众所周知,洁净室是我们现代的工业生产中很重要的设备之一,而在其使用的过程中也是很容易出现静电的问题而影响设备的使用,因此在今天的文章中我们就请来净化设备厂家的专业人士为您分析洁净室的静电问题!
一、洁净室的洁净度越高,则静电带电的情况越严重。
二、洁净室内的工作人员所穿的洁净工作服、鞋、步行等,在工作的时候和分歧物质设备器材摩擦会发生静电。
三、穿着尼龙衣、塑料胶底鞋迟缓地在洁净的地板上走动,身上带7000V~8000V静电压,在乙烯基地板上行走可带1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)静电压,在地毯上行走可带35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH),晶片装配线工人穿的工作服可达10KV。
四、内部的多数高绝缘介质装饰资料、空中、墙、门、顶棚、间隔、工作台、椅子等,这些都是摩擦就轻易起电带电的。一般情况下,光刻间塑料空中500V~1000V,扩散间塑料空中500V~1500V,瓷砖空中也有500V~1500V,塑料墙纸700V,塑料顶棚OV~1000V。
五、空调的气流经由初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器是带静电的。
六、大量的绝缘器材、配备也是重要的静电电荷源。
七、室内的晶片装料盒35KV,有机玻璃盖8KV,石英成品1.5KV,晶片托盘6KV,丙烯酸脂盖20KV,台桌面10KV,塑料存贮柜30KV,玻璃纤维晶体载料盒滑过聚丙烯桌面带10KV,带静电的程度也是不一样的。
在了解了以上的这些因素之后,我们就可以找到适合的方法进行处理,这些是我们在操作洁净室中需要注意的问题,现在就在我们的使用中好好的注意一下!
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