半导体厂用空气过滤器的要求十分苛刻
信息来源:http://www.hefil.com.cn/ 发布时间:2013/11/20 9:26:13 点击数:
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空气过滤设备
国内正处于对新一轮芯片厂建设的狂热中,因此,预计在未来几年,将需要数亿元的高效过滤器和精密过滤器。而半导体厂对于生产环境空气的洁净度是十分挑剔的,因此对于空气过滤器的要求也是十分苛刻。
对于所有电子工业来说,它们大的敌人就是空气中的海盐粒子。如果空气中的海盐颗粒较大,那么普通的过滤器就能将其过滤掉,但是如果是颗粒较小的呢?又该怎么办?有人说经营电子工业,首先就需要远离海岸,可沿海地区经济发达,芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区,在过滤器上多花点钱就是了。
活性炭过滤器的过滤等级技术能够将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零,想要多干净就能多干净,当芯片上的线宽小到0.5mm时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了精密空气过滤器。精密空气过滤器的工作原理和制作过程并不复杂,它就是活性炭过滤器,但是传统的活性炭过滤器制造厂并没有运用上这一优势,芯片厂的活性炭过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。
在生活中,化学污染一般都来源于:室外的空气、装修材料、人等。但是在一般情况下,即使是设计师,也说不出污染物的种类和浓度。因此,提供给他们的化学过滤器至少需要具备两个特点:一是具有广谱吸附性能;二是有足够多的活性炭材料。广谱吸附性能就是对于什么都能有吸附性,而能有这种功能的都是普通、便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类,就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理,以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器的供应商有时还需要提供相应的市场检测服务,来帮助用户确定过滤器的使用情况,这就要求供应商中有专门致力于研究化学过滤的专拣,并与名气大的化学实验室有密切的关系。
半导体厂对于环境的洁净度十分挑剔,但这并不意味着它就是的“无烟工业”,它也有环境的问题。因为经常会使用的工艺和材料,因此很多化学物品其实在没有评估安全性之前,其实就已经开始在大量的使用了,一不小心就会造成严重的化学污染,既有地下水污染,也有空气污染。
空气过滤器不光在医药行业被的应用,它同时也在电子行业被的应用,就像半导体厂一样。既会有地下水污染,也会存在空气污染,所以空气过滤器就是必不可少的了。