芯片厂专用空气过滤器提高生产质量

信息来源：http://www.hefil.com.cn/ 发布时间：2013/11/22 9:51:50 点击数： Tags: 空气过滤设备

当今，半导体芯片厂对生产环境空气洁净程度挑剔，对空气过滤器的要求也苛刻，粘在芯片上的粉尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。

衡量芯片集成工的指标之一是“线宽”，即集成电路上导线的宽度。在线宽以微米计的年代，制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10，随着线宽不断变小，1/10之说又变成1/4、1/2.2002年，普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13μm,此时任何粉尘都可能损害电路，粒径与线宽的传统比较过时了

芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个天花板上布满无隔板高效过滤器，整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的高效过滤器装置。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。

能挤进芯片厂的高效过滤器和FFU都要经过逐台扫描测试，芯片厂以为，传统的检验方法用的试验粉尘本身就是污染源，所以芯片厂不买钠焰和DOP法的账。

空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但海盐粉尘的颗粒比较大，普通过滤器就能将其除去。有人说电子工业的理想地点应该远离海岸，可国内芯片厂就建在了经济发达的沿海地区，在空气过滤器上多花点钱就是了。

芯片厂特别在意过滤器上可能的微量挥发元素。近几年出现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤材料，这种材料没有挥发物，但它带静电，过滤后的空气要进行电中和以控制空气中的离子，少了个隐患，多了个麻烦。目前PTEF高效滤材的价格偏高，绝大部分高效过滤器仍使用传统的玻纤滤纸。高效过滤器上可能的挥发物主要源于制造过程的粘结剂、清洗剂、试验粉尘、辅助材料，为芯片厂供货的空气过滤器厂商要在避免微量挥发物上下些功夫。

但当芯片的线宽小到0.5μm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，后建的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器，它的原理和制造工艺并不复杂。

化学污染物的来源有：室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下，设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度，因此，芯片厂用的化学过滤器应具有两个特点：广谱吸附性能、足够多的活性炭材料。所谓广谱吸附就是对什么都能多少吸附些，能有这种功能的就是传统的、便宜的，微孔尺寸大小不均的颗粒活性炭。如果能确定染污物种类，就可对吸附材料进行有针对性的化学处理，以增强对物定污染物的吸附能力。

过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务，以帮助用户确定化学过滤器的使用情况，这就要求供应商中有搞化学过滤的有经验的人，并与权威实验室的密切的关系。遗憾的是国内过滤器厂商没有几家在那上面下功夫，所以国内芯片厂目前使用的化学过滤器多数是进口产品。

半导体工业并非“无烟工业”，它也有环境问题。那里经常采用的工艺和材料，有些化学物品在其安全性尚未得到评估前就已经大量使用了。为降低环境风险，有些芯片厂的排风系统也装有化学过滤器。由此可见，使用空气过滤器是必要的，那么今天我们主要给大家讲解了关于芯片厂不使用空气过滤器的坏处以及使用空气过滤器的好处，大家可以详细了解下。