大家知道影响层流罩的几个因素吗?

信息来源：http://www.hefil.com.cn/ 发布时间：2013/12/13 9:12:56 点击数： Tags: 过滤器产品

层流罩是由空调箱经风管与洁净室内之空气空气过滤器进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风，气流非直线型运动而呈不划定礼貌之乱流或涡流状况，此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。

层流罩的优点是什么呢?主要是其结构简单、系统建造成本，洁净室之扩展比较轻易，在某些非凡用处场合，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。而且层流罩分为两种形式，分别是：层流式、复合式。

[一]层流式：

层流式空气气流运动成一平均之直线形，空气由袒护率100%之空气过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式合用于洁净室等级需定较高之情况运用，通俗其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：

(1)水平层流式：水平式空气自空气过滤器单倾向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，通俗在轻贱侧污染较严重，结构简单，运转后短时候内即可变成稳定。

(2)垂直层流式：房间天花板完整以ULPA空气过滤器袒护，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所发生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。治理轻易，运转劈头短时候内即可达稳定状况，不易为功课状况或功课人员所影响。

[二]复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可供应部分超洁净之空气。

(1)洁净地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA空气过滤器将制程区域或工作区域100%袒护使洁净度等级提高至10级以上，可俭省装置运转费用。此型式需将功课人员之工作区与产品和机械维修予以隔离，以避免机械维修时影响了工作及质量，ULSI制程大都采用此种型式。

(2)并装部分洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，认为消费之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

(3)洁净管道(CleanTube)：将产品流程经由的主动消费线围困并净化措置，将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘情况相互隔离，少量之送风即可获得优越之洁净度，可俭省能源，不需人工的主动化消费线为适合运用。药品、食物业界及半导体业界均合用。

洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用自力之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较有经验的之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米阁下，袒护面积约10m2以下，四支支柱并加装运动轮，可为弹性运用。

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