air filter在微电子行业的重要性及应用

信息来源：http://www.hefil.com.cn/ 发布时间：2013/9/30 10:33:59 点击数： Tags: 过滤器

相信很多的电脑玩家都知道，电脑中每天都会进无数灰尘，影响电脑的性能，有的甚至会堵塞散热器，导致电脑的温度长时间不下降，所以现在很多人在想如果以后电脑中也装上过滤除尘器就好了，专业人员表示粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响寿力空压机配件产品的成品率。当今，半导体工业(芯片厂)对生产环境空气洁净程度高挑剔，对air filter的要求也苛刻。

衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”，即电路上导线的宽度。air filter在微电子行业的重要性及应用,在以微米计算线宽的年代，人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10，随着线宽不断变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年，普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm，此时任何粉尘都可能损害电路，粒径与线宽的传统比较已经过时了,air filter在微电子行业的重要性及应用。

芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。air filter在微电子行业的重要性及应用,现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置，即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。

air filter在微电子行业的重要性及应用不论是普通高效过滤器还是FFU，出厂前都要经过逐台扫描测试。国内目前没有扫描测试方法标准，能挤进芯片厂的过滤器厂家是按欧美标准对过滤器进行扫描测试的。芯片厂的人认为，过滤器传统检验方法用的试验粉尘本身就是污染源，所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的帐。

空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大，普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，在过滤器上多花点钱就是了。

看完以上的信息，大家对于air filter在微电子的重要性及应用都了解吧，值得一提的是在现在大部分过滤器仍使用玻璃纤维滤纸。过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘结剂和清洗剂，为芯片厂供货的过滤器厂商要在这上面下些功夫。

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