ULPA过滤器检测方法介绍以及检测误差控制

信息来源：http://www.hefil.com.cn/ 发布时间：2013/12/6 10:06:26 点击数： Tags: 过滤器

ULPA过滤器全称为超高效空气过滤器，或称超低穿透率空气过滤器，对0.1~0.2μm的微粒、烟雾和微生物等尘埃粒子的过滤效率达到99.999%以上。ULPA超高效过滤网，ULPA是在HEPA的基础上经进一步加强了HEPA的过滤效果,ULPA对0.3微米以上的微粒子的过滤效率达到99.9999%以上。ULPA与HEPA相比，滤料结构更紧凑、过滤效率更高, 但同时， 阻力也更高。

[一]ULPA过滤器特点：

滤芯用超细玻璃纤维滤料经打胶折叠而成，外框可选用夹层木板、镀锌铜板、不锈钢板及铝合金板，通过聚氨酯胶紧密粘接，具有质量轻、透气量大，集尘率高达99.95-99.999%，且耐碱，耐高温。

[二]ULPA过滤器用途：

适用于10000级-100级洁净系统，空调系统，因此产品已应用于电子、微电子、半导体、光器件、生物和医药线路、照相机和光学仪器、精密机械等多个领域。

[三]ULPA过滤器测试方法及其特点：

1)粒子计数法

此法是以离散粒子计数器 (DPC) 作为检测仪器，测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质，选择范围较宽，常用多分散气溶胶，如 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的。此法灵敏度较高，目前主要用于 ULPA 过滤器其 η≥99.999 % (0.1-0.2μm) 的测 试，当然亦可用于 HEPA 过滤器的测试。替代 DOP 法当已是趋势。

2)DOP法

此法是以光度计作检测，测试用气溶胶必须是单分散 (0.31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的。

3)钠焰法。

此法采用火焰光度计，它对 NaCl 燃烧的火焰色度 ( 相当于 NaCl 的质量 ) 作响应， NaCl 质量粒径分布在 0.02-2μm 间或更狭一些。其质量平均粒径 (MMD) 在 0.5-0.6μm 间。此法灵敏度低，且 NaCl 对微电子工厂的产品质量有害，因此国外早已不用。

4)MPPS法

过滤器测试时，需先测定滤料的 MPPS ：另外，其对过滤器效率的测试不是采用整体测试，而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理得出穿透率及效率。大允许局部穿透率比整体的高 5 倍或更多。

[四]ULPA过滤器误差及控制

(1)气溶胶浓度变化会影响测试结果，因此其浓度均匀及稳定亦是必须保证的，常需通过混匀器及多点测试并调整进行控制。

(2)流速，除粒径外是影响过滤器效率的较重要的因素。因此必须使流速均匀并稳定。常需通过测定并调整进行控制。

(3)气溶胶粒子在测试系统内会沉积，会影响测试结果，需采用尽量短的管路并合理布置。

(4)在用冷发的气溶胶时，气溶胶在喷嘴内进行机械破碎时会带静电 ( 热发时不存在 ) ，因此需要设中和器加以中和，以免粒子沉积。

(5)采用粒子计数器作检测时，需注意避免重叠误差需采用稀释器及本底噪音值的控制并及时校正。

(6)管路内壁由于气流流动时会积聚静电，影响气溶胶粒子沉积，因此需采用金属管道并接地。

(7)粘度、压降、温湿度、振动以及非等动力采样都会在一定条件下对测试产生影响，一般有的关系不大，有的易控制或在计算时加以修正。

ULPA过滤器在各个行业使用都非常，它适用于10000级-100级洁净系统，空调系统，因此产品已应用于电子、微电子、半导体、光器件、生物和医药线路、照相机和光学仪器、精密机械等多个领域。

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