半导体工业空气过滤器的必要性

信息来源：http://www.hefil.com.cn/ 发布时间：2014/2/2 11:08:04 点击数： Tags: 过滤器

当今，半导体厂对生产环境洁净程度非常挑剔，对空气过滤器的要求也越来越苛刻，而在半导体厂，半导体厂用空气过滤器起着非常重要的作用，是不可缺少的，下面我们就一起来了解一下。

空气中海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘颗粒比较大，普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，在过滤器上多花点钱就是了。

活性炭过滤器过滤等级技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零，你想要多干净都能达到。当芯片上的线宽小到0.5mm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了精密空气过滤器。精密空气过滤器的原理和制造工艺并不复杂，它就是活性炭过滤器，但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车，芯片厂的深圳活性炭过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。

化学污染物的来源可能是：室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下，设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度，因此，为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特点：广谱吸附性能、足够多的活性炭材料。所谓广谱吸附就是对什么都能多少吸附些，能有这种功能的就是普通、便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类，就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理，以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务，以帮助用户确定反渗透过滤器的使用情况，这就要求供应商中有搞化学过滤的有经验的人，并与名气大的化学实验室有密切的关系。

半导体工业并不是人们普遍认为的“无烟工业”，也就是说它也是有环境问题的，稍不小心就会造成严重的化学污染。因此，为了保险起见，半导体厂一般都会使用空气过滤器。

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